杜邦DuPont™ IntegraTec™ Modules SFP-2860超滤膜UF膜更换案例6:半导体行业超纯水预处理SFP-2860更换(颗粒污染导致膜失效)
杜邦DuPont™ IntegraTec™ Modules SFP-2860超滤膜UF膜更换案例6:半导体行业超纯水预处理SFP-2860更换(颗粒污染导致膜失效)
某半导体企业超纯水预处理系统,SFP-2860超滤膜运行18个月,出现膜通量下降35%,跨膜压差升至0.18MPa,经检测,因预处理保安过滤器滤芯破损,大量微小颗粒进入超滤系统,导致膜孔堵塞,膜丝污染,常规清洗无法恢复,需更换膜组件。更换要点:更换前,更换保安过滤器滤芯,检查预处理管路,确保无颗粒杂质进入;拆除旧膜组件,对膜架进行精密清洗,去除内壁残留颗粒;新SFP-2860超滤膜装入前,用超纯水浸泡4h,去除膜表面杂质;装入后,反洗、正洗至出水浊度≤0.05NTU、颗粒数≤10个/mL,合格后投入运行;更换后,建立保安过滤器定期巡检制度,避免滤芯破损。更换后,超滤系统运行稳定,出水水质满足半导体超纯水预处理要求,为后续反渗透、抛光混床提供稳定进水。
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