3M Liqui-Cel EXF-8x40脱气膜案例1：Mini/Micro LED晶圆清洗水脱气应用

 3M Liqui-Cel EXF-8x40脱气膜案例1：Mini/Micro LED晶圆清洗水脱气应用

Mini LED、Micro LED新型显示面板晶圆清洗工艺，对水质溶解气体含量要求远超传统LCD面板，溶解气体会导致微米级LED芯片氧化、发光效率下降，某新型显示面板制造企业针对Micro LED晶圆清洗生产线，选用3M Liqui-Cel EXF-8x40脱气膜，搭建高精度清洗水脱气系统，保障芯片清洗质量。3M Liqui-Cel EXF-8x40脱气膜为8×40中加长型膜组件，适配4-5m³/h清洗水流量，采用中空纤维微孔膜物理脱气技术，无化学添加、无二次污染，可将清洗水中溶解氧、二氧化碳同步降至1ppb以下，彻底杜绝LED芯片晶圆表面氧化、气泡残留问题。该脱气膜膜丝韧性强、抗污堵性能优异，适配清洗水含微量光刻胶、金属离子的工况，无需频繁反冲洗，运行压力稳定，压力损耗仅0.025MPa，不影响高压喷淋清洗效果。3M Liqui-Cel EXF-8x40脱气膜模块化设计便于生产线扩容，全自动运行无需专人值守，故障预警及时，投入使用后，LED晶圆氧化缺陷率降低95%，芯片发光均匀性提升20%，良品率突破99.5%，成为新型显示行业高端晶圆清洗水脱气的核心选型。