案例1：半导体超纯水杜邦DUPONT AmberTec MR-300UPWH/OH树脂安装

 案例1：半导体超纯水杜邦DUPONT AmberTec MR-300UPWH/OH树脂安装

半导体晶圆制造超纯水系统安装杜邦DUPONT AmberTec MR-300UPWH/OH离子交换树脂，该款可再生均粒混床树脂专为半导体级超纯水设计，安装全程执行洁净车间规范。施工人员穿戴无尘服，罐体、管路采用高纯硝酸钝化+超纯水漂洗，彻底清除金属离子残留。罐内预注无氧超纯水，采用密闭隔膜泵装填杜邦DUPONT AmberTec MR-300UPWH/OH树脂，全程无尘操作，避免粉尘、异物混入。控制装填流速平缓，树脂床层均匀密实，无结块、无碎粒。安装完毕后，用超纯水低速循环冲洗，监测出水电阻率≥18.2MΩ·cm、TOC≤2ppb，直至水质稳定。杜邦DUPONT AmberTec MR-300UPWH/OH树脂杂质析出极低、交换动力学优异，满足半导体晶圆超纯水严苛标准。

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